無塵室內(nèi)防止微粒子污染的四大基本原則,無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了?少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

無塵室內(nèi)防止微粒子污染的四大基本原則：

一、無塵室內(nèi)防止微粒子污染的四大基本原則>>不攜入在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：
1）作業(yè)員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理；

2）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3）通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。
4）機器及材料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風淋室吹淋后才進入無塵室。

5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有過濾器的排氣用小型風機于腰間。

二、無塵室內(nèi)防止微粒子污染的四大基本原則>>不發(fā)生在控制最大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到最小限度應采取以下對策：

1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；

2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

3）采用發(fā)塵小的潤滑油；

4）機臺應用非接觸化工作原理。

三、無塵室內(nèi)防止微粒子污染的四大基本原則>不儲備若能徹底實施“不攜入”技術(shù)，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。

因此“不儲備”技術(shù) 快速地在過濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。

突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣 中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。在最高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內(nèi)將內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數(shù)值。

同時， 空氣的流向也必須要有精確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產(chǎn)生空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會附著在周邊機器設(shè)備的表面而引起污染。

控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。

為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。

四、無塵室內(nèi)防止微粒子污染的四大基本原則>>排除/除去在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接對外排氣，即所謂的局部排氣。

針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能 源消耗。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。

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